Системы очистки сточных вод и рециркуляция сточных вод на предприятиях по производству полупроводников.

Для производства полупроводников требуется вода совершенно разного качества. Сверхчистая вода (UPW) используется для очистки, промывки, травления пластин и других важных процессов, в то время как те же производственные линии генерируют сточные воды, содержащие химические вещества, растворенные твердые вещества и другие технологические загрязнения.

Для предприятий полупроводниковой промышленности задача состоит не просто в производстве технологической воды или раздельной очистке сточных вод. Надежная система очистки сточных вод в полупроводниковой отрасли должна учитывать обе стороны водного цикла: стабильное снабжение технологической водой и эффективную рекуперацию сточных вод.

Почему очистка сточных вод и водоподготовка должны работать вместе

Для систем сверхчистой воды требуется тщательное регулирование качества подаваемой воды. В зависимости от производственного процесса и требуемого качества воды, обработка может включать предварительную обработку, мембранную сепарацию, обратный осмос и технологии доочистки.

Однако состав сточных вод может значительно различаться на разных этапах производства. Кислые и щелочные потоки, сточные воды, содержащие фториды, взвешенные твердые частицы и растворенные загрязняющие вещества могут потребовать различных подходов к очистке.

Именно поэтому предприятиям по производству полупроводников часто выгоднее разделять потоки сточных вод и использовать системы очистки, разработанные с учетом реальных условий процесса, а не на основе стандартного пакета решений.

Переработка воды может снизить потребность в пресной воде.

После соответствующей предварительной обработки для повторного использования в промышленности можно применять мембранные процессы, такие как ультрафильтрация (УФ) и обратный осмос (ОО).

Цель не всегда состоит в достижении максимально возможного коэффициента извлечения. С инженерной точки зрения, стабильный коэффициент извлечения часто более ценен, чем эксплуатация системы за пределами ее надежного рабочего диапазона. Необходимо учитывать качество исходной воды, загрязнение мембран, потенциал образования накипи, управление концентратом и требования к повторному использованию на последующих этапах.

Для предприятий с более высокими показателями повторного использования воды мембранная обработка может быть также интегрирована с дополнительными процессами концентрирования или термической обработки.

Инженерный опыт, полученный в ходе работы над проектами в полупроводниковой отрасли.

В портфеле ERAGON представлены решения для водоочистки в полупроводниковой отрасли, охватывающие как очистку сточных вод от производства полупроводниковых материалов, так и очистку промышленных сточных вод.

В рамках проекта по производству полупроводников полная система очистки была установлена ​​в подвале предприятия. Проект включал систему подготовки сверхчистых сточных вод с заданным сопротивлением ≥18,2 МОм·см, а система очистки сточных вод была рассчитана на производительность 600 м³/сутки.

Еще один проект для производителя прецизионных полупроводниковых компонентов включал системы повторного использования воды, чистой воды и сверхчистой воды (UPW) с заданным удельным сопротивлением чистой воды ≥10 МОм·см и международным требованием EW-1.

Эти проекты демонстрируют важный момент: водоподготовка для полупроводниковых предприятий — это не применение одной технологии. Конфигурация системы должна соответствовать производственным процессам, требованиям к качеству воды, доступному пространству, характеристикам сточных вод и условиям длительной эксплуатации.

Чтобы подробнее ознакомиться с опытом компании ERAGON в реализации полупроводниковых проектов, посетите наш сайт. Проект по очистке полупроводниковых сверхчистых сточных вод и промышленных отходов..

Для мембранной очистки и повторного использования воды вы также можете ознакомиться с нашими предложениями. Промышленные мембраны обратного осмоса.

Планирование системы водоподготовки для полупроводниковых предприятий

Перед выбором системы очистки сточных вод от полупроводниковых предприятий или процесса очистки сточных вод следует оценить следующие факторы:

• Качество сырой воды и сточных вод
• Требуемые значения удельного сопротивления и качества воды для UPW.
• Требования к разделению сточных вод
• целевые показатели повторного использования воды
• Риски загрязнения и образования отложений на мембранах
• Управление концентрациями
• Доступное место для установки
• Требования к долгосрочной эксплуатации и техническому обслуживанию

Грамотно спроектированная система должна обеспечивать надежность производства, одновременно снижая потребление пресной воды и сброс сточных вод.

Компания ERAGON ENVIRO TECH предоставляет инженерные решения в области систем очистки сточных вод, очистки сточных вод полупроводниковых предприятий и повторного использования промышленных вод, включая проектирование технологических процессов, производство оборудования, реализацию проектов «под ключ», ввод в эксплуатацию и операционную поддержку. Наш текущий портфель включает более 200 проектов и более 20 лет опыта работы в отрасли.

Часто задаваемые вопросы

В1: Для чего используется UPW в производстве полупроводников?

Сверхчистая вода (UPW) широко используется для очистки, промывки, травления кремниевых пластин и других процессов, где требуется высокая чистота воды.

Вопрос 2: Можно ли перерабатывать сточные воды, используемые в производстве полупроводников?

Да. В зависимости от характеристик сточных вод и предполагаемого места повторного использования, очистка может сочетать предварительную обработку, ультрафильтрацию, обратный осмос и другие технологии доочистки или концентрирования.

В3: Что следует учитывать при проектировании систем очистки сточных вод, используемых в полупроводниковой промышленности?

Перед выбором технологического процесса необходимо оценить состав сточных вод, их разделение по потокам, целевые показатели качества воды, требования к степени извлечения, загрязнение мембран, управление концентратом, занимаемое пространство и долгосрочную эксплуатацию.